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2017-09-13 09:29

二次电子扫描象的分辨本领最高,约等于入射电子束直径,一般为6-10nm深,主要用于测试表面形貌;背散射电子为50-200 nm深,可以测表面形貌,也可以得到表面成分衬度;吸收电子和X射线为100-1000nm深,这些信号主要用来得到表面元素。

测能谱?只能毛估吧

至少要有几个纳米厚度

EDX是测得元素的特征X射线进行分析,微米级别。XPS是纳米级别。

EDX探测深度为100nm以上,因此不能说完全是表面信息
XPS探测深度在10nm以内,因此可以说表面信息

根据inelastic mean free path of electrons 来估算吧,
深度跟角度也有一定关系...

你可以用XPS(X射线光电能谱仪),当 X射线与样品相互作用后 ,激发出某个能级上的电子 ,测量这一电子的动能 ,可以得到样品中有关的电子结构信息 ,这就是XPS方法的最简单描述。XPS所探测的样品深度受电子的逃逸深度所限,一般在几个原子层,故属表面分析方法,实验实验,一定要多试验才行,如果实验过程中有不明白的,可以在小木虫APP,向大牛们请教,他们都会热心解答的,而且你也能实时收到回复,很方便的。

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