【求助】请问关于EDS(EDX)表征

2017-10-03 10:23

关于TEM和SEM的EDX的区别,你的说法应该是没问题的,一个是体相的,一个是表面的。
要看元素的价态可能不行,用XPS比较好
对EDX了解不是很多,就说到这里了,:P

TEM中EDX表征一个元素出现多峰对应于它的原子核外层
铜网中的碳与石墨应该是在一样的峰位的,lz是想从TEM中分辨石墨吗?

1. TEM中的EDS和SEM-EDS的探测深度的确不同,不过不能区分是体相还是表面,因为TEM的样品很薄,电子束是透过的,那么所选区域的原子都包含进去了,SEM虽然得到的二次电子只是表层5-10nm的信息,但EDS的信号可以来自于样品体相几个立方微米的信息。
2. EDS的分辨率相对于XPS和EELS很低,一般在125 eV,这个分辨率是无法分辨元素价态的(价电子的能量差别很多在0.1-0.2 eV)。至于元素有多个峰,这是跟EDS的原理里面,涉及到多个电子层的跃迁,L-K,M-K,M-L等等,就产生了多条特征谱线,

TEM-EDX  mainly focus on the point or the pot, while SEM-EDX mainly focuses on the surface area. Normally, it can provide more exactly information than TEM-EDX. It also can provide more exact composition analysis than TEM-EDX

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